Sicherheit für Reinräume

In der Halbleiterindustrie und Reinraumtechnik ist ein anspruchsvolles Engineering notwendig. Die HARTING Technologiegruppe hat effiziente Steckverbinderlösungen bereitgestellt, die sich durch höchste Zuverlässigkeit und Kontaktfähigkeit auszeichnen. Die Qualität der HARTING Produkte und die Möglichkeit, diese modular zu verarbeiten, befähigt zur Bereitstellung hochwertiger Komponenten für den Wirkungsbereich der Halbleiterindustrie.

So entstehen fertig aufbereitete Produkte und Baugruppen, die für den Maschinenbau der Halbleiterindustrie direkt einsetzbar sind.

Ein Beispiel ist die Entwicklung einer Laboranlage zur Erzeugung von EUV-Licht (Extreme Ultra Violet) für die Chipfertigung mit kleinsten Strukturgrößen. Wo in normaler Umgebungsluft befindliche Partikel Schaltkreise im Bereich von Bruchteilen eines Mikrometers stören würden, ist z. B. eine spezielle Reinigung der Komponenten mit erforderlich. Die anschließende Verpackung in mehreren Spezialfolien ermöglicht schließlich eine partikelfreie Verarbeitung im Reinraum.