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産業用コネクタ / Han®


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産業用丸型コネクタ
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特殊アプリケーション用コネクタとケーブルアセンブリ
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メトリック丸型コネクタ
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産業用丸型コネクタ
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  2. 半導体ツールコネクティビティ

半導体ツールコネクティビティ

半導体製造は、世界で最も複雑な産業プロセスのひとつです。人工知能、電気自動車、民生用電子機器を実現するチップを製造するには、サブミクロン精度で動作する何千ものツールを備えた数十億ドル規模の製造施設(ファブ)が必要です。このような作業の中核となるのが、ツール内およびツール間で中断のない電力、正確な信号、高速データを供給するコネクターです。これらのコネクターは、重要な機器に電力を供給するだけでなく、工場全体の各プロセスの正確な監視と制御を可能にし、故障のリスクを最小限に抑え、予定外のダウンタイムをなくします。


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コンパクトでモジュール化されたツールを構築し、稼働時間を最大化します。


ゲート・オールアラウンド(GAA)トランジスタや3Dスタッキングのような技術革新により、チップ・アーキテクチャの微細化と複雑化が進む中、最先端ファブの建設コストは今や100億ドルを超えています。このため、ファブのオーナーやオペレーターは、ツールや装置を選択する際に、スループット、信頼性、フットプリントの3つの重要な指標を重視します。

ツールの設計者やエンジニアにとって、これは、より小さく、より困難なスペースで、より高い出力、より多くのデータ、より多くの接続性を提供することを意味します。同時に、設計、組み立て、試運転の時間を短縮することも求められています。

HARTINGのコネクタ・ソリューションは、エンジニアがこのような課題に対応できるよう、以下のことを可能にします:

  • コンパクトな高密度コネクターによるフットプリントの削減

  • ラピッドプロトタイピングとモジュール設計による開発サイクルの短縮

  • ハイブリッド電源およびデータコネクタとケーブルアセンブリーを使用したツール製作時間の短縮

  • クリーンルームや過酷な環境に対応する堅牢なコネクターで稼働時間を向上

  • 簡単なメンテナンスと交換可能なコンポーネントによるメンテナンスの簡素化

  • グローバルな製造および技術サポートに支えられた合理化されたロジスティクス

HARTINGをコネクティビティパートナーとすることで、半導体製造装置メーカーは最先端のチップ設計に対応するツールを構築することができ、同時に最新の工場運営の要求を満たすことができます。

半導体製造の専門知識


半導体メーカーのスループットを最大化【ケーススタディ

半導体製造装置向け小型で堅牢な接続ソリューション

半導体製造の小さなフットプリントにおけるより良い接続性

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より迅速にオンライン化

ハイブリッド電源およびデータコネクタとケーブルアセンブリーにより、設計および構築時間を短縮できます。
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フットプリントの削減

コンパクトな高密度コネクタで、より小さなスペースに電源とデータを収めます。
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信頼性の向上

厳しい環境と用途に対応する堅牢なコネクタで、ダウンタイムの可能性を低減します。
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メンテナンスの簡素化

モジュール全体を素早く簡単に修理、交換、交換し、オンラインに戻すことができます。
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グローバル・サプライチェーンの活用

現地在庫とグローバル生産を提供するパートナーとの提携により、ロジスティクスと調達に関する懸念を解消します。
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正確なコピーサポート

接続ソリューションは、ツールのライフサイクルを通じてサポートされます。

主要な半導体ツール接続ソリューション


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フロントエンドツール

リソグラフィから成膜、エッチングに至るまで、フロントエンドツールはシリコンウェーハ上に回路を形成する最も重要なプロセスを実行します。
フロントエンド機器の接続性
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サブファブ設備

半導体クリーンルームの清浄な環境の下には、配電ユニット、真空ポンプ、除害システム、冷凍機、ガス供給ユニットなどの機器を収容するサブファブや重要なインフラ層があります。
サブファブ機器の接続
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検査& 検査

歩留まりと加工時間を損なわないためには、検査とテストのステップが重要です。つまり、性能を検証し、欠陥ゼロの出力を保証するためには、あらゆる信号、センサー、制御システムが完璧に動作しなければならないのです。
検査& 接続性テスト
SemiconductorManufacturing_BackEnd.tif

バックエンド機器

CoWoS(チップ・オン・ウェーハ・オン・サブストレート)や3Dスタッキングなどの高度なパッケージング技術は、後工程の装置により高い精度とスループットを要求しています。
バックエンド機器の接続性

SEMI会員

半導体業界をリードする団体


セミ は、半導体のエコシステムと、より広範なエレクトロニクス製造・設計サプライチェーンを結びつけるプラットフォームを提供する唯一のグローバルな業界団体です。

HARTINGは、世界3,000人以上のメンバーからなるこの活気あるコミュニティの一員であり、業界イベント、標準化プログラム、コミュニティのソートリーダーシップに参加しています。

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半導体製造装置のエキスパートにご相談ください

コネクタ化やソリューションの機能に関するご質問には、当社のエキスパートがお答えします。技術的なガイダンスや設計のお手伝いが必要な場合は、社内のエンジニアにご連絡ください。


チャット

半導体製造の小さなフットプリントにおけるより良い接続性


スマートフォンやスマートウォッチから自律走行車やAIサーバーまで、半導体チップはあらゆるデバイスに搭載されています。このようなチップの需要に対応するためには、半導体製造装置は、既存の設備でより 多くのチップを生産することなく、 より多くのチップを生産しなければなりません。

設備の設置面積を拡大することなく歩留まりを向上させるには、よりスマートで効率的な機械が必要です。

モジュラーコネクターは複雑さを簡素化します。 民生用電子機器のRCAケーブルがHDMIに取って代わられたように、産業用モジュラーコネクターは複数の機能を1つのインターフェースに統合します。

全文を読む

半導体製造向けコネクティビティ・ソリューション


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har-bus®64

また、VME 64xアプリケーション用シリーズ、har-bus® 64コネクタもご覧ください。
har-bus®64
D-Sub PushPull graphic

D-Sub PushPull

革新的なクイックロック機構により、過酷な環境下でも簡単に取り扱え、信頼性の高い接続が可能です。
D-Sub PushPull
PushPull

HARTING PushPull

使いやすいプラグコネクタ。
詳細
Han-Modular®

Han-Modular®

接続タイプやアプリケーションのモジュールを1つのコネクタに組み合わせて、より多くの機能を実現。
eShopと製品データ
Han Catalogue - rectangular connectors - three composed Han-connectors

ix® Industrial

4-8線イーサネットおよびPower over Ethernet(PoE)機能用小型コネクタ。
詳細
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M12

最も広く使われているメトリック・サイズ。
M12
Device Connectivity Cable Connectors Cable Assemblies Hybrid Connectors Power and Signal.psd

D-Sub

代表的な製品で幅広く多彩なポートフォリオ。
発見
»

「HARTINGのコネクタは多様な機能を備えているため、信頼性が高く、これらの製品すべてに適用できます。さらに、非常に高い設定可能性を持ち、インストールも非常に簡単です。また、レイアウトの面でも、キャンバスの中でどのように選手を配置するかというチャンスが増えるので、より良いものになります」。

半導体工具メーカー

リード・エンジニア

その他の半導体リソース


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半導体製造装置向け小型で堅牢な接続ソリューション

ファブの建設には莫大な費用がかかり、クリーンルームの運用コストも非常に高いため、ファブのオーナーやオペレーターは、チップ製造に使用する装置やツールを選択する際に、稼働時間、信頼性、スペースを優先します。
続きを読む
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半導体製造装置メーカーのスループットを最大化【ケーススタディ

ある大手半導体装置メーカーが、HARTINGのソリューションによって社内の配電ボックスを小型化し、出力を最大化した方法。
ケーススタディの全文を読む
Han-B-IP67-Dockingframe.jpg

過酷な環境用スチール製ドッキングフレーム

堅牢なドッキングフレームにより、機械モジュールと工具を自動的かつ完全に工具なしでドッキングできます。
詳細

半導体製造向けコネクティビティ・ソリューションについて話す準備はできていますか?


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半導体製造に関するFAQ


コネクティビティは、センサー、アクチュエーター、制御システム、データネットワーク間のシームレスな通信を可能にするため、半導体装置設計のバックボーンとなっています。例えば、各ツールには、電源、データ、信号用の電気接続が何百、何千とある場合があります。

接続性が悪いと、信号の劣化、プロセスの中断、コストのかかるダウンタイムが発生します。

高度な工具と装置には、リアルタイム監視、予知保全、ファクトリーオートメーションシステムとの統合をサポートする、モジュール式でスケーラブル、かつ信頼性の高い接続ソリューションが必要です。

検査ツールからの高速データ伝送であれ、ウェハーハンドリングにおけるロボットアームへの電力供給であれ、製造プロセス全体にわたってスループット、歩留まり、品質を維持するためには、堅牢な接続性が不可欠です。

HARTINGは幅広い標準コネクタを設計・製造しています。しかし、既製のコンポーネントでは解決できない接続性の課題については、当社のアプリケーション・エンジニアと設計エンジニアのチームが、お客様のアプリケーションのためのカスタムソリューションを開発するために待機しています。

当社の社内専門家は、半導体ツールの設計者やエンジニアが求める最も困難 でユニークな 嵌合、形状、および機能要件を満たすコネクタを設計できます。

詳しくは私たちのチームにお問い合わせください。

はい 一般的なISO規格と業界固有の要件を満たす真空対応コネクターとクリーンルーム対応コネクターを提供しています。

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